Prospector®

Kimura® K2CD

Família genérica: Elastomer, Specialty • Fornecido por: Precision Polymer Engineering Ltd.
A red/brown high performance polymer containing a unique self- reinforcing polymer structure, developed specifically for aggressive semiconductor applications. The high purity of the polymer combined with the absence of any fillers makes this polymer suitable for processes involving lower feature sizes. This material has a low coefficient of thermal expansion, low compression set and has an extremely low etch rate in aggressive plasma environments.

Key Attributes
  • Exceptionally pure - does not contain any fillers which may cause particulation problems.
  • Outstanding plasma resistance - ideal for Chlorine, Fluorine & Oxygen chemistries.
  • Exceptionally low plasma etch rate
  • Low thermal expansion
  • Retro-fits existing O-ring grooves (including FKM & FFKM grooves)
  • Low permeation
  • Low out-gassing
  • Low adhesion (reduced sticking)

Typical Applications
  • Dynamic seals
  • Static seals
  • Wafer-handling products
Propriedades gerais

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Status do material
Comercial: Ativo
Documentos
description

Technical Datasheet (English)

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Disponibilidade
América do Norte, Ásia/Pacífico, Europa
Usos
Acessórios
Outras propriedades
Características, Aparência, Esforço de tensão a 100%, Esforço de tensão a 100%, Tensão na Ruptura, Esforço de tensão no Escoamento, Alongamento na ruptura, Deformação por tensão na ruptura, Aparelho de Compressão, Aparelho de Compressão, Dureza, Dureza Shore, Dureza IRHD, Dureza IRHD, Propriedades adicionais, Informações Adicionais
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Processamento

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Onde comprar

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Características Premium
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