Perlast® G70H
Description Perlast® G70H provides optimal performance in high-temperature, chemically and mechanically demanding environments. This highly reinforced material offers extended seal life, offering low plasma etch rates in flat panel and thin-film solar CVD processes and the high mechanical strength needed to cope with the high forces repeatedly applied in these large scale applications.
Perlast® G70H is available as fully moulded O-rings (any size up to 2m/6.5ft internal diameter) and fully moulded formed slit valve door seals up to 3m in length for generation 10 and above.
Key Attributes
Typical Applications
Perlast® G70H is available as fully moulded O-rings (any size up to 2m/6.5ft internal diameter) and fully moulded formed slit valve door seals up to 3m in length for generation 10 and above.
Key Attributes
- Excellent plasma resistance
- High temperature performance
- High mechanical strength
- High abrasion resistance
- Extremely low out-gassing properties
Typical Applications
- Slit valve door seals
- ISO valve seals
- Load lock seals
- NW / KF / ISO O-rings
一般的な属性
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材料ステータス
供給可能
ドキュメント
description
Technical Datasheet (English)
ドキュメントのダウンロード可用性
アジア太平洋地域, 欧州, 北アメリカ
用途
シール
その他の属性
特徴, 外観, 引張り応力100%, 引張応力100%, 降伏点での引張り強度, 引張降伏応力, 破断伸び, 引張破壊歪み, 圧縮セット, 圧縮セット, IRHD硬度, IRHD硬度, その他の特性, 追加情報
加工
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ご購入方法
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