Fusion™ 706
Fusion TM 706 is a low-durometer, high-purity fluoroelastomer, developed for a wide range of semiconductor processing sealing applications. Special engineering applications requiring low sealing force materials, such as bonded slit valve gates, are well suited for Fusion TM 706.
Recommended for use in a range of plasma equipment applications, from etch and plasma enhanced CVD to plasma ashing applications, Fusion TM 706 is ideal for sealing devices that must accommodate tolerance stack-up conditions.
Fusion TM 706 offers very low-metallic ion levels and good resistance to today’s advanced process chemistries. Contact Greene Tweed’s Semiconductor engineering and sales experts for specific application recommendations.
Recommended for use in a range of plasma equipment applications, from etch and plasma enhanced CVD to plasma ashing applications, Fusion TM 706 is ideal for sealing devices that must accommodate tolerance stack-up conditions.
Fusion TM 706 offers very low-metallic ion levels and good resistance to today’s advanced process chemistries. Contact Greene Tweed’s Semiconductor engineering and sales experts for specific application recommendations.
一般的な属性
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材料ステータス
供給可能
ドキュメント
description
Technical Datasheet (English)
ドキュメントのダウンロード可用性
北アメリカ
用途
シール
その他の属性
特徴, 外観, 形状, 密度 / 比重, 引張応力 50%, 引張り応力100%, 引張り強度, 破断伸び, 圧縮セット, デュロメーター硬度, その他の特性
加工
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